Tarče za naprševanje visoko čistega bakra – kvadratne (4N-6N)
Tarča za naprševanje visoko čistega bakra – izjava o postopku in zagotavljanju kakovosti
Naše kvadratne bakrene tarče za razprševanje so izdelane po strogih standardih, potrebnih za zanesljivo nanašanje tankih filmov v naprednih postopkih nanašanja premazov.
Proizvodnja sledi strogo nadzorovanemu poteku dela v vakuumu, da se ohrani izjemno visoka čistost in konsistentnost materiala:
● Izbira surovin: Kot vhodni material se uporabljajo samo certificirane elektrolitske bakrene katode (≥99,99 %).
● Vakuumsko taljenje: Indukcijsko taljenje pod visokim vakuumom ali inertno atmosfero zmanjšuje absorpcijo kisika in hlapnih nečistoč.
● Litje in rafiniranje: Nadzorovano usmerjeno strjevanje proizvaja ingote s homogeno sestavo in minimalno segregacijo.
●Vroče obdelava: Kovanje ali vroče stiskanje doseže skoraj teoretično gostoto in prefinjeno zrnato strukturo.
● Natančna obdelava: CNC rezkanje in brušenje zagotavljata natančne kvadratne dimenzije z ravnimi, vzporednimi površinami.
● Površinska obdelava: Večstopenjsko poliranje zagotavlja zrcalno gladek videz, primeren za uporabo v čistih prostorih.
● Izbirno lepljenje: Za toplotno obvladovanje je na voljo vezava indija ali elastomera na molibdenske/bakrene nosilne plošče.
● Končno čiščenje in pakiranje: Ultrazvočno čiščenje v ultra čisti vodi, ki mu sledi vakuumsko pakiranje v dvoslojne čiste vrečke.
Sistem nadzora kakovosti
● Popolna sledljivost od serije surove katode do končne tarče
● Certifikati materialov in poročila o preskusih so priloženi vsaki pošiljki
● Hramba arhivskih vzorcev ≥3 leta za preverjanje s strani tretje osebe (SGS, BV itd.)
● 100-odstotni pregled kritičnih parametrov:
• Čistost in nečistoče (analiza GDMS/ICP-MS; tipičen kisik <10 ppm)
• Merjenje gostote (Arhimedova metoda; ≥99,5 %)
• Velikost zrn in mikrostruktura (metalografski pregled)
• Dimenzijska natančnost (KMS; ravnost ≤ 0,05 mm tipično)
• Hrapavost in napake površine (profilometer + vizualni pregled)
● Notranje specifikacije presegajo zahteve ASTM F68. Tipične lastnosti: toplotna prevodnost >390 W/m·K, električna upornost <1,7 μΩ·cm, konstantna hitrost naprševanja in kakovost filma.
● Postopki, združljivi s čistimi sobami, in obrat s certifikatom ISO 9001:2015 zagotavljajo, da vsak cilj izpolnjuje zahtevne potrebe sodobnih PVD aplikacij.










